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應用領(lǐng)域	化工

TwisTorr 74 FS 渦輪分子泵是一種 70 L/s 小型渦輪分子泵，適用于研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究和電子顯微鏡。這款泵借助渦輪級與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動級之間的協(xié)同作用，可提供更高的真空性能。

其懸浮軸承技術(shù)可保證極低的振動和噪音，使其適用于靈敏儀器和敏感的工作環(huán)境。獨特的懸臂式懸掛系統(tǒng)確保您的應用不會受到磁場干擾，也不會受到烴類污染。

特性

TwisTorr 74 FS 渦輪分子泵對輕質(zhì)氣體的高壓縮比以及無烴運行設(shè)計，保證出色的極限壓力
遠程控制器可在距離 100 m 處進行操作
高前級耐壓能力可使用更小的前級泵，降低成本及占地面積
低振動和低噪音 (41 dB(A))，打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實驗環(huán)境下運行
免維護軸承，零運行成本
體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成
真空計讀數(shù)功能，用于監(jiān)測系統(tǒng)壓力
通過 Vacuum Link 應用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時隨地進行泵的操作
防輻射和防磁場設(shè)計，無嵌入式電子設(shè)備，可在強磁場和輻射環(huán)境下運行
低電磁輻射，確保不會干擾應用流程

性能指標

H2 壓縮比	1 x 104
He 壓縮比	2 x 105
N2 壓縮比	1 x 109
冷卻方法	Air cooling Water cooling
前級管道法蘭尺寸	KF 16 NW
前級耐壓 — N2	12 mbar
啟動時間	< 2 min
噪音水平	40 dB(A)
工作位置	任意
建議采用的前級泵容量	3 m3/h
抽速 — Ar	59 L/s
抽速 — H2	42 L/s
抽速 — He	54 L/s
抽速 — N2	60 L/s
操作環(huán)境溫度	+5 to +35 °C
最高氣體通量 — Ar、水冷	80 sccm
最高氣體通量 — N2、水冷	130 sccm
極限真空	<5 x 10–10 mbar
標準和認證	CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求
法蘭類型	DN 63 KF 40
貯存環(huán)境溫度	-40 至 +70 °C
重量	2.05 kg
額定轉(zhuǎn)速	70000 rpm（驅(qū)動頻率 1167 Hz）

工作原理

TwisTorr 拖動技術(shù)

來自渦輪級的氣體分子被推過 TwisTorr 拖動級。拖動技術(shù)壓縮分子，通過一系列具有特定幾何形狀的通道將其引導至出口，這些通道的特點是截面逐漸減小。氣體被壓縮，然后在高達 20 mbar 的壓力下排出，這可以通過小型的低成本前級泵輕松進行管理。

安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS)

安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS) 可在所有運行階段對 TwisTorr 分子泵的轉(zhuǎn)子位置進行全面而準確的控制。定位精度遠小于 1 mm，而阻尼效應大大降低了轉(zhuǎn)子的殘余振動，從而降低了分子泵的噪聲和振動。這兩種特性在許多應用中十分重要，例如掃描電子顯微鏡 (SEM)。

適用于挑戰(zhàn)性環(huán)境的設(shè)計

TwisTorr 分子泵的一個特點是可以通過遠程工作站進行控制，電纜可長達 100 m。這意味著在有挑戰(zhàn)性的安裝環(huán)境下具有超高靈活性。這些泵經(jīng)過精心設(shè)計，不含任何電子元件，可用于各種應用（包括存在磁場和輻射的應用）。輻射吸收極限高達 5 × 105 戈瑞 (Gy)，且橫向磁場極限為 5 mT（50 高斯），縱向為 10 mT（100 高斯）。